商品属性
货号
型号
新旧程度
设备所在地
设备生产产地
产品数量
商品描述
1.多品种大量生产系统
是大量生产多镀膜的真空镀膜系统。通过一台设备可以大面积 glass 及 3D 形状等各种产品表面上金属镀膜, 还可以多薄膜镀膜.
规格
腔体尺寸 2050
蒸发源 电子束源
基板夹具 可选:分段圆顶(3/6/7),翻转
控制系统 HOPE(过程控制和监控-PC系统)
EB(电子枪) 1GUN 韩一 12穴
离子源 韩一 (霍尔)
机械泵 爱德华 EM275
罗茨泵 爱德华EM2600
深冷 韩国V-PLUS1000H
晶控 XTC/3S+单探头
加热方式 下加热卤灯