商品属性
货号
型号
新旧程度
设备所在地
设备生产产地
产品数量
商品描述
1.多品种大量生产系统
是大量生产多镀膜的真空镀膜系统。通过一台设备可以大面积 glass 及 3D 形状等各种产品表面上金属镀膜, 还可以多薄膜镀膜.
规格
腔体尺寸 2050
蒸发源 电子束源
基板夹具 可选:分段圆顶(3/6/7),翻转
控制系统 HOPE(过程控制和监控-PC系统)
EB(电子枪) 1GUN 韩一 12穴
离子源 韩一 (霍尔)
机械泵 爱德华 EM275
罗茨泵 爱德华EM2600
深冷 韩国V-PLUS1000H
晶控 XTC/3S+单探头
加热方式 下加热卤灯
2.以客户满足为主 HVC-2050DA
耐久性
P采取先进设计技法 在 Chamber 及 Door 防止 Crack, 具备坚固的门
保证薄膜均匀性及重复性
按照物质分蒸发特性采用可变修正板保证 Dome 全体的均匀性, Batch 之间质量无变.
简便性
不熟练工作人员也会使用, 可以按使用者的要求来控制项目,显示出发生故障时 原因及解决方案.
提供工艺管理
提供 Process recipe 及 Data Logging,很容易管理工艺和质量.
大量生产对应
按照验收标准进行彻底的验收,交付设备反映了客户要求事项,安装后短时间内可以大量生产.
Cover Glass 插入数量